| 发明名称 |
METHOD OF FORMING A DIELECTRIC FILM AND SEMICONDUCTOR DEVICE INCLUDING SAID FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2179679(B) |
申请公布日期 |
1990.01.04 |
| 申请号 |
GB19860020609 |
申请日期 |
1986.08.26 |
| 申请人 |
* RCA CORPORATION |
发明人 |
GRZEGORZ * KAGANOWICZ;JOHN WALTER * ROBINSON;ALFRED CHARLES * IPRI |
| 分类号 |
H01L21/316;C23C14/02;C23C14/08;H01L21/28;H01L29/51 |
主分类号 |
H01L21/316 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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