发明名称 DISPOSITIF DE SUPPORT POUR UN SUBSTRAT MINCE, NOTAMMENT EN UN MATERIAU SEMICONDUCTEUR
摘要 Dispositif de support pour un substrat mince, notamment en un matériau semiconducteur se présentant sous la forme d'une plaquette à profil circulaire, comportant une platine munie de butées fixes en saillie contre lesquelles s'appuie le substrat.Selon l'invention, ce dispositif se caractérise en ce que les butées fixes 9 sont disposées sur la platine 2 de façon à délimiter un logement ouvert 8 dans lequel s'engage librement le substrat 12, la platine comprenant une butée complémentaire mobile 14, propre à s'escamoter dans un évidement 18 prévu dans l'épaisseur de la platine pour permettre l'engagement du substrat, puis après mise en place de celui-ci jusqu'au contact avec les butées fixes, à s'appliquer de façon élastique contre le bord du substrat en le maintenant appliqué contre ces butées.Application à l'industrie des composants semiconducteurs.
申请公布号 FR2633452(A1) 申请公布日期 1989.12.29
申请号 FR19880008667 申请日期 1988.06.28
申请人 DOUE JULIEN;BEAUVINEAU JACKY 发明人
分类号 H01L21/203;C23C14/50;C30B23/02;C30B25/12 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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