发明名称 Wafer inspection system
摘要
申请公布号 GB2220100(A) 申请公布日期 1989.12.28
申请号 GB19890012064 申请日期 1989.05.25
申请人 * GALAI LABORATORIES LTD 发明人 NIR * KARASIKOV;YOEL * ILSAR
分类号 G01N21/84;G01R31/265;G01R31/28;G01R31/311;H01L21/66 主分类号 G01N21/84
代理机构 代理人
主权项
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