ANORDNUNG ZUM BESCHICHTEN EINES SUBSTRATS MIT DIELEKTRIKA,申请号DE19883821207-传众专利搜索

发明名称	ANORDNUNG ZUM BESCHICHTEN EINES SUBSTRATS MIT DIELEKTRIKA
摘要
申请公布号	DE3821207(A1)	申请公布日期	1989.12.28
申请号	DE19883821207	申请日期	1988.06.23
申请人	LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE	发明人	SCHERER, MICHAEL, DIPL.-PHYS. DR., 6458 RODENBACH, DE;LATZ, RUDOLF, DIPL.-PHYS. DR., 6000 FRANKFURT, DE;PATZ, ULRICH, DR., 6464 LINSENGERICHT, DE
分类号	C23C14/00;C23C14/06;C23C14/35;H01J37/34	主分类号	C23C14/00
代理机构		代理人
主权项
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