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发明名称 DURCH STRAHLUNG POLYMERISIERBARES AUFZEICHNUNGSMATERIAL UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON RELIEFAUFZEICHNUNGEN
摘要
申请公布号 DE3821583(A1) 申请公布日期 1989.12.28
申请号 DE19883821583 申请日期 1988.06.25
申请人 HOECHST AG, 6230 FRANKFURT, DE 发明人 GEISSLER, ULRICH, DIPL.-CHEM. DR., 6203 HOCHHEIM, DE;WILSKI, HANS, DIPL.-CHEM. DR., 6232 BAD SODEN, DE
分类号 C23F1/00;G03F7/004;G03F7/027;H01L21/027;H05K3/00;H05K3/06 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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