摘要 |
Die Erfindung betrifft ein positiv arbeitendes strahlungsempfindliches Gemisch und ein hieraus mit einem Schichtträger hergestelltes Aufzeichnungsmaterial. Das Gemisch enthält als wesentliche Bestandteile ein 1,2-Chinondiazid oder eine Kombination aus 1) einer unter Einwirkung von aktinischer Strahlung starke Säure bildenden Verbindung und 2) einer Verbindung mit mindestens einer spaltbaren C-O-C-Bindung und ein Bindemittel mit wiederkehrenden Einheiten der allgemeinen Formel I <IMAGE> worin R1 ein Wasserstoff- oder Halogenatom, eine Cyanid- oder eine Alkylgruppe, R2, R3, R4 gleich oder verschieden sind und Wasserstoff-, Alkyl- oder Arylgruppen, R5, R6 und ggf. R7 gleich oder verschieden sind und Wasserstoffoder Halogenatome, Alkyl-, Aryl- oder Alkoxygruppen, X die zur Vervollständigung eines ein- oder mehrkernigen carbocyclischen aromatischen Ringsystems erforderlichen Atome bedeuten und n 1, 2 oder 3 ist. Das erfindungsgemäße Gemisch ergibt Flachdruckplatten mit hoher Druckauflage, die man thermisch nachhärten kann und gute Chemikalienbeständigkeit besitzen. Es können auch Photoresists mit hoher Wärmestandfestigkeit hergestellt werden.
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申请人 |
HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
ELSASSER, ANDREAS, DR. DIPL.-CHEM.;FRASS, HANS WERNER, DR. DIPL.-CHEM.;MOHR, DIETER, DR. DIPL.-CHEM. |