发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01321634(A) 申请公布日期 1989.12.27
申请号 JP19880155498 申请日期 1988.06.22
申请人 NEC CORP 发明人 SAGAWA SEIJI
分类号 H05H13/06;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H05H13/06
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利