| 发明名称 |
FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICES UTILIZING PATTERNED METAL LAYERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0241873(A3) |
申请公布日期 |
1989.12.27 |
| 申请号 |
EP19870105317 |
申请日期 |
1987.04.10 |
| 申请人 |
AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY |
发明人 |
HIGASHI, GREGG SUMIO |
| 分类号 |
C23C16/06;C23C16/48;C23C20/04;H01L21/285;H01L21/3205;(IPC1-7):C23C16/48 |
主分类号 |
C23C16/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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