发明名称 BURNING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01321659(A) 申请公布日期 1989.12.27
申请号 JP19880155849 申请日期 1988.06.22
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YANO HIDEYOSHI;UEO NORIYUKI;MIYAMOTO TETSUJI;OGATA RYOJI
分类号 H01L23/00 主分类号 H01L23/00
代理机构 代理人
主权项
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