发明名称 FORMATION OF HIGH-ACCURACY PATTERN
摘要
申请公布号 JPH01321412(A) 申请公布日期 1989.12.27
申请号 JP19880155389 申请日期 1988.06.22
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NODA HIDEKI;KUSAKA SATOSHI
分类号 G02B6/32 主分类号 G02B6/32
代理机构 代理人
主权项
地址