| 发明名称 |
MICROWAVE PLASMA ETCHING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0171949(B1) |
申请公布日期 |
1989.12.27 |
| 申请号 |
EP19850305217 |
申请日期 |
1985.07.23 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
FUJIMURA, SHUZO C/O FUJITSU LIMITED |
| 分类号 |
H01L21/302;H01J37/305;H01J37/32;H01L21/145;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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