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经营范围
发明名称
ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号
JPH01319237(A)
申请公布日期
1989.12.25
申请号
JP19880149655
申请日期
1988.06.17
申请人
JEOL LTD
发明人
SUZUKI SEIICHI
分类号
H01J37/04;H01J37/09;H01J37/141;H01J37/26
主分类号
H01J37/04
代理机构
代理人
主权项
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