发明名称 SECONDARY ELECTRON DETECTOR
摘要
申请公布号 JPH01319240(A) 申请公布日期 1989.12.25
申请号 JP19880151016 申请日期 1988.06.16
申请人 JEOL LTD 发明人 TOMITA TAKESHI
分类号 H01J37/244;H01J49/06 主分类号 H01J37/244
代理机构 代理人
主权项
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