发明名称 FILM CARRIER AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH01316951(A) 申请公布日期 1989.12.21
申请号 JP19880146772 申请日期 1988.06.16
申请人 NIPPON MINING CO LTD 发明人 SHIMAUCHI HIDENORI;SUZUKI KEIJIRO
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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