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经营范围
发明名称
FILM CARRIER AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号
JPH01316951(A)
申请公布日期
1989.12.21
申请号
JP19880146772
申请日期
1988.06.16
申请人
NIPPON MINING CO LTD
发明人
SHIMAUCHI HIDENORI;SUZUKI KEIJIRO
分类号
H01L21/60
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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