| 发明名称 |
DIAMOND THIN FILM SUBSTRATE AND PRODUCTION THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01317197(A) |
申请公布日期 |
1989.12.21 |
| 申请号 |
JP19880148903 |
申请日期 |
1988.06.16 |
| 申请人 |
KANEGAFUCHI CHEM IND CO LTD |
发明人 |
YAMAMOTO KENJI;OWADA YOSHIHISA |
| 分类号 |
C23C16/26;C23C16/27;C30B29/04;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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