发明名称 GLOW DISCHARGE CRACKER
摘要
申请公布号 JPH01316464(A) 申请公布日期 1989.12.21
申请号 JP19880147603 申请日期 1988.06.15
申请人 KYOCERA CORP 发明人 WATANABE ATSUSHI;OKUBO DAIGORO;OKAWA KAZUMASA;HIGUCHI HISASHI
分类号 G03G5/08;C23C16/24;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205 主分类号 G03G5/08
代理机构 代理人
主权项
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