发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR THIN FILM CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH01316926(A) 申请公布日期 1989.12.21
申请号 JP19880149304 申请日期 1988.06.17
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 YAMAMOTO TOMOO;KONDO NAOTO;NANISHI YASUSHI;NISHIDA TOSHIO;TAMAMURA TOSHIAKI
分类号 H01L21/205;H01L21/312 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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