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发明名称 SIMPLE PROCESS FOR PRODUCTION OF MONOSILANE
摘要
申请公布号 JPH01317114(A) 申请公布日期 1989.12.21
申请号 JP19880146528 申请日期 1988.06.14
申请人 MITSUI TOATSU CHEM INC 发明人 INOUE KAORU;MIYAGAWA HIROJI;YANAGAWA NORIYUKI;ABE TAKAHARU;ITO MASAYOSHI
分类号 C01B33/04;C01B33/107 主分类号 C01B33/04
代理机构 代理人
主权项
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