发明名称 DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01316472(A) 申请公布日期 1989.12.21
申请号 JP19880148794 申请日期 1988.06.15
申请人 NEC CORP 发明人 ISHIZAKA HIROYUKI
分类号 C23F4/00;G21K1/093;H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
地址