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发明名称
REDUCED-PRESSURE CVD DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01316461(A)
申请公布日期
1989.12.21
申请号
JP19880146970
申请日期
1988.06.16
申请人
FUJITSU LTD
发明人
MIENO FUMITAKE
分类号
C23C16/44;H01L21/205;H01L21/31
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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