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经营范围
发明名称
DEVICE FOR MEASURING DIAMETER IN SINGLE CRYSTAL PULLING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01317191(A)
申请公布日期
1989.12.21
申请号
JP19880147329
申请日期
1988.06.15
申请人
MITSUBISHI METAL CORP;JAPAN SILICON CO LTD
发明人
ABE TOSHIO
分类号
C30B15/26;H01L21/08
主分类号
C30B15/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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