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发明名称 STRAHLUNGSEMPFINDLICHES GEMISCH UND HIERAUS HERGESTELLTES STRAHLUNGSEMPFINDLICHES AUFZEICHNUNGSMATERIAL
摘要
申请公布号 DE3820699(A1) 申请公布日期 1989.12.21
申请号 DE19883820699 申请日期 1988.06.18
申请人 HOECHST AG, 6230 FRANKFURT, DE 发明人 ELSAESSER, ANDREAS, DIPL.-CHEM. DR., 6270 IDSTEIN, DE;FRASS, HANS WERNER, DIPL.-CHEM. DR., 6200 WIESBADEN, DE;MOHR, DIETER, DIPL.-CHEM. DR., 6501 BUDENHEIM, DE
分类号 G03F7/022;G03F7/004;G03F7/023;G03F7/032;G03F7/039;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
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