发明名称 DISTORTION SENSOR AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH01316974(A) 申请公布日期 1989.12.21
申请号 JP19880149646 申请日期 1988.06.17
申请人 KOMATSU LTD 发明人 TACHIKA ATSUSHI;TABATA TSUGUNORI;SUZUKI TOMOTAKE;INAGAKI HIROSHI;KAMAIKE MAKOTO;KOBAYASHI YUKIO
分类号 G01B7/16;H01L29/84 主分类号 G01B7/16
代理机构 代理人
主权项
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