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发明名称 VAPOR PHASE GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01317196(A) 申请公布日期 1989.12.21
申请号 JP19880148722 申请日期 1988.06.16
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 KOAIZAWA HISASHI
分类号 C30B25/08;C23C14/00;C23C16/44;C30B25/14;H01L21/205 主分类号 C30B25/08
代理机构 代理人
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