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发明名称 SECONDARY ION COLLECTION AND TRANSPORT SYSTEM FOR ION MICROPROBE
摘要
申请公布号 EP0210182(B1) 申请公布日期 1989.12.20
申请号 EP19850906021 申请日期 1985.11.25
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人 WARD, JAMES, W.;SCHLANGER, HERBERT;MCNULTY, HUGH, JR.;PARKER, NORMAN, W.
分类号 H01J37/252;G01Q30/02;H01J37/256;H01J49/06;H01J49/14 主分类号 H01J37/252
代理机构 代理人
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