METHOD FOR MEASURING ELECTRIC CHARACTERISTICS OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE,申请号JP19880147853-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR MEASURING ELECTRIC CHARACTERISTICS OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号	JPH01314974(A)	申请公布日期	1989.12.20
申请号	JP19880147853	申请日期	1988.06.15
申请人	SUMITOMO ELECTRIC IND LTD	发明人	SHIRAKAWA FUTATSU;TAKEBE TOSHIHIKO;KIYAMA MAKOTO
分类号	G01R27/02;H01L21/66	主分类号	G01R27/02
代理机构		代理人
主权项
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