GUIDELESS X-Y TABLE,申请号JP19880147289-传众专利搜索

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发明名称	GUIDELESS X-Y TABLE
摘要
申请公布号	JPH01314993(A)	申请公布日期	1989.12.20
申请号	JP19880147289	申请日期	1988.06.15
申请人	TOKYO ELECTRON LTD	发明人	ONO HIROO;SUGANO SOICHI
分类号	G12B5/00	主分类号	G12B5/00
代理机构		代理人
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