发明名称 SILICON CARBIDE:METAL CARBIDE ALLOY SEMICONDUCTOR.
摘要 Un nouveau type de matériau semi-conducteur est constitué d'un alliage de beta-SiC/carbure métallique de formule générale Siw(métal 1)x(métal 2)y(métal 3)z C, où w+x+y+z = 1 et 1>w>0. Les métaux sont choisis dans le groupe composé de Ti, Hf, Zr, V, Ta, Mo, W et Nb, Ti, Hf, et Zr étant préférés. Par un choix approprié des proportions de carbure métallique et de SiC, la bande interdite de l'alliage peut être adaptée spécialement à n'importe quel niveau souhaité entre les bandes interdites du carbure métallique et du SiC. Des dispositifs semi-conducteurs sont formés de préférence par croissance épitaxiale d'une couche du nouvel alliage sur un substrat (6) présentant une structure cristalline du type beta-SiC ou TiC. Outre le fait qu'ils conservent les avantages de du beta-SiC à bande interdite unique alliés à certaines autres propriétés, les nouveaux alliages permettent la mise en oeuvre de divers dispositifs électriques qui ne peuvent être réalisés avec du beta-SiC, et présentent également un potentiel pour des surstructures pliées en bande et destinées à des détecteurs infrarouges et à des lasers.
申请公布号 EP0346464(A1) 申请公布日期 1989.12.20
申请号 EP19890902704 申请日期 1988.11.21
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人 PARSONS, JAMES, D.;STAFSUDD, OSCAR
分类号 C30B29/36;H01L21/20;H01L21/36;H01L29/24;H01L31/02;H01L31/0312;H01L31/032;H01L33/26;H01L33/34;H01S3/14 主分类号 C30B29/36
代理机构 代理人
主权项
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