| 发明名称 |
PROCESS FOR PLASMA-DEPOSITION OF MULTIPLE LAYERS OF AMORPHOUS MATERIAL,HAVING A VARIABLE COMPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB8924713(D0) |
申请公布日期 |
1989.12.20 |
| 申请号 |
GB19890024713 |
申请日期 |
1989.11.02 |
| 申请人 |
ENIRICERCHE S P A;AGIP S P A |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/22;C23C16/515;C23C16/52 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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