发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01315143(A) 申请公布日期 1989.12.20
申请号 JP19880148582 申请日期 1988.06.15
申请人 SONY CORP 发明人 IZAWA NOBUYUKI
分类号 H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
地址