发明名称 FORMING OF HIGH-RESISTANCE INP LAYER
摘要
申请公布号 JPH01313928(A) 申请公布日期 1989.12.19
申请号 JP19880144646 申请日期 1988.06.14
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OKUDA SHINYA
分类号 H01L21/208 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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