| 发明名称 |
Plasma thin film deposition process |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4888199(A) |
申请公布日期 |
1989.12.19 |
| 申请号 |
US19880191448 |
申请日期 |
1988.05.09 |
| 申请人 |
THE BOC GROUP, INC. |
发明人 |
FELTS, JOHN T.;LOPATA, EUGENE S. |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C14/00;C23C14/54;C23C16/52 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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