发明名称 PRODUCTION OF GAAS COMPOUND SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH01313398(A) 申请公布日期 1989.12.18
申请号 JP19880144709 申请日期 1988.06.14
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 MASUKATA YOSHIMASA;TAMAI FUJIO;KITAMURA KAZUNARI
分类号 C30B27/02;C30B29/42;H01L21/208 主分类号 C30B27/02
代理机构 代理人
主权项
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