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经营范围
发明名称
CLEANING
摘要
申请公布号
JPH01312830(A)
申请公布日期
1989.12.18
申请号
JP19880144510
申请日期
1988.06.10
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
MATSUSE KIMIHIRO
分类号
B08B3/04;H01L21/304
主分类号
B08B3/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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