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发明名称
CONTACT FORCE SENSOR
摘要
申请公布号
JPH01312436(A)
申请公布日期
1989.12.18
申请号
JP19880143794
申请日期
1988.06.13
申请人
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL
发明人
SHINOKURA TSUNEKI
分类号
G01L5/00;B25J19/02;H01L29/84
主分类号
G01L5/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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