发明名称 METHOD FOR GROWING SILICON
摘要
申请公布号 JPH01313394(A) 申请公布日期 1989.12.18
申请号 JP19880142989 申请日期 1988.06.09
申请人 NEC CORP 发明人 OSHITA YOSHIO
分类号 C30B25/02;C30B29/06;H01L21/205 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
地址