VERTICAL VAPOR GROWTH DEVICE FOR ORGANOMETALLIC COMPOUND,申请号JP19880143610-传众专利搜索

发明名称	VERTICAL VAPOR GROWTH DEVICE FOR ORGANOMETALLIC COMPOUND
摘要
申请公布号	JPH01313390(A)	申请公布日期	1989.12.18
申请号	JP19880143610	申请日期	1988.06.13
申请人	SUMITOMO ELECTRIC IND LTD	发明人	KIMURA HIROYA;SHIMAZU MITSURU
分类号	C30B25/14;H01L21/205	主分类号	C30B25/14
代理机构		代理人
主权项
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