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发明名称
SUSCEPTOR FOR VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01312822(A)
申请公布日期
1989.12.18
申请号
JP19880143197
申请日期
1988.06.09
申请人
SUMITOMO CHEM CO LTD
发明人
MAEDA NAOYOSHI;TANAKA MITSUAKI;HATA MASAHIKO;YOSHIHO YASUNARI;FUKUHARA NOBORU;TAKADA HIROAKI
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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