发明名称 PRODUCTION OF TRICHLOROSILANE
摘要
申请公布号 JPH01313318(A) 申请公布日期 1989.12.18
申请号 JP19880141678 申请日期 1988.06.10
申请人 MITSUI TOATSU CHEM INC 发明人 INOUE KAORU;MIYAGAWA HIROJI;YANAGAWA NORIYUKI;ABE TAKAHARU;ITO MASAYOSHI
分类号 C01B33/107 主分类号 C01B33/107
代理机构 代理人
主权项
地址