DEVICE FOR AUTOMATIC INSPECTION OF LARGE INTEGRATED CIRCUITS,申请号SU19864080862-传众专利搜索

发明名称	DEVICE FOR AUTOMATIC INSPECTION OF LARGE INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号	SU1529220(A1)	申请公布日期	1989.12.15
申请号	SU19864080862	申请日期	1986.07.15
申请人	CHUNAEV VALENTIN S,SU;MALSHIN ALEKSANDR V,SU;KARE YULIJ A,SU;REJNBERG MIKHAIL G,SU;PESHKOV MIKHAIL V,SU;MAKSIMOV SERGEJ A,SU;YAROSLAVTSEV OLEG,SU;KRASNOVA LYUDMILA S,SU;BURGASOV MIKHAIL A,SU;METELKINA MARGARITA G,SU	发明人	CHUNAEV VALENTIN S,SU;MALSHIN ALEKSANDR V,SU;KARE YULIJ A,SU;REJNBERG MIKHAIL G,SU;PESHKOV MIKHAIL V,SU;MAKSIMOV SERGEJ A,SU;YAROSLAVTSEV OLEG I,SU;KRASNOVA LYUDMILA S,SU;BURGASOV MIKHAIL A,SU;METELKINA MARGARITA G,SU
分类号	G06F11/263;G01R31/303;G06F11/00	主分类号	G06F11/263
代理机构		代理人
主权项
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