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发明名称 FORMATION OF INSULATING FILM AND ELEMENT STRUCTURE USING THE SAME FILM
摘要
申请公布号 JPH01312084(A) 申请公布日期 1989.12.15
申请号 JP19880142537 申请日期 1988.06.09
申请人 HITACHI LTD 发明人 HARA SHINICHI;TOGAWA EISEI;KUWAZUKA SHUNICHIRO;ASHIDA EIJI;FUYAMA MORIAKI;KAWAZOE SHIGEYOSHI;HIJIKATA HIROTSUGU
分类号 C23F1/00 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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