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经营范围
发明名称
PATTERN SHAPE MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01311551(A)
申请公布日期
1989.12.15
申请号
JP19880140775
申请日期
1988.06.08
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
KOMATSU BUNRO;MIYOSHI MOTOSUKE
分类号
G01B15/00;G01B15/04;H01J37/04;H01J37/22
主分类号
G01B15/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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