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发明名称
摘要
申请公布号 DE3315014(C2) 申请公布日期 1989.12.14
申请号 DE19833315014 申请日期 1983.04.26
申请人 ADVANCED SEMICONDUCTOR MATERIALS AMERICA, INC., PHOENIX, ARIZ., US 发明人 ENGLE, GEORG M., SCOTTSDALE, ARIZ., US
分类号 H01L21/205;B01J12/00;B01J19/08;C23C16/509;C30B25/10;C30B33/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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