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发明名称 CONTROL SYSTEM FOR THIN FILM POLISHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01310866(A) 申请公布日期 1989.12.14
申请号 JP19880143229 申请日期 1988.06.10
申请人 HITACHI LTD;HITACHI ELECTRON ENG CO LTD 发明人 TANAKA HIDEO;KANEKO SHINICHI;SUGANO MITSUGI;SANO MAKOTO;OTSUKA AKIRA
分类号 B24B49/04;G01B11/06 主分类号 B24B49/04
代理机构 代理人
主权项
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