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发明名称
ETCHANT
摘要
申请公布号
JPH01310543(A)
申请公布日期
1989.12.14
申请号
JP19880142302
申请日期
1988.06.08
申请人
NEC CORP
发明人
FURUKAWA AKIO
分类号
H01L21/308
主分类号
H01L21/308
代理机构
代理人
主权项
地址
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