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发明名称 PLASMA CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01309975(A) 申请公布日期 1989.12.14
申请号 JP19880141087 申请日期 1988.06.08
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TAKEBAYASHI MIKIO;ONISHI YOICHI;NAKAYAMA ICHIRO
分类号 C23C16/50;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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