MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19880142176-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPH01310539(A)	申请公布日期	1989.12.14
申请号	JP19880142176	申请日期	1988.06.09
申请人	MATSUSHITA ELECTRON CORP	发明人	KOBAYASHI SHOGO
分类号	H01L21/768;H01L21/28;H01L21/285	主分类号	H01L21/768
代理机构		代理人
主权项
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