发明名称 CR-CU TARGET MATERIAL AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH01309961(A) 申请公布日期 1989.12.14
申请号 JP19880140331 申请日期 1988.06.07
申请人 HITACHI METALS LTD 发明人 TANIGUCHI SHIGERU;OGATA KENJI
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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