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经营范围
发明名称
THIN FILM-FORMING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01309957(A)
申请公布日期
1989.12.14
申请号
JP19880139663
申请日期
1988.06.06
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
YAMAKAWA MASASHI
分类号
C23C14/32
主分类号
C23C14/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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