发明名称 MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01309361(A) 申请公布日期 1989.12.13
申请号 JP19880139557 申请日期 1988.06.08
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TOEDA HISAO;YATABE SHIGERU;OUCHI MASAYUKI
分类号 H05K3/28;H01L25/04;H01L25/18 主分类号 H05K3/28
代理机构 代理人
主权项
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